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正文 第66章 双工件台

    凌晨一点,星辰光刻总装车间。

    那台已经立起骨架的EUV光刻机样机,安静地矗立在防震地基上。工件台在真空腔里缓缓移动,发出极轻的嗡鸣。

    王磊盯着屏幕上跳动的数据,脸色越来越沉。

    "第43次联调,开始。"

    "工件台Y轴移动,误差——3.18纳米。"

    "X轴,误差——3.24纳米。"

    "未达标。要求精度:0.5纳米。"

    机械的女声,在车间里回荡。

    王磊摘下耳机,一拳砸在操作台上:"差一个数量级!怎么调都压不下去!"

    桌角的咖啡杯被震得跳了一下,洒出几滴褐色的液体。车间里,几个工程师面面相觑,谁都没敢接话。

    "老陈,"王磊抬起头,眼底全是血丝,"这已经是第43次了。再这么调下去,三十天的联调计划,全得泡汤。"

    陈博士叹了口气,正要开口,苏宇的声音先一步响起:"把数据打出来,我看看。"

    苏宇站在他身后,盯着那组数据,沉默了很久。

    "问题出在哪?"他问。

    "测量基准。"陈博士走过来,推了推眼镜,"工件台的对准精度,取决于测量基准的稳定性。我们的基准台,热膨胀系数超标——温度波动零点一度,误差就放大一倍。"

    "国外那几家能做高精度基准台的公司,"王磊接过话头,声音发苦,"全在芯片联盟的封锁名单里。艾斯摩尔当年造工件台,用了德国顶级精机厂的部件。我们——买不到。"

    "买不到就造。"苏宇说。

    "造不了。"陈博士摇头,"这东西,难的不是图纸,是加工精度。国内能加工这种等级零件的小厂,屈指可数。而且基准台的材料,本身就是个世界级难题。"

    苏宇没有说话,只是走到工件台前,蹲下身,看着那台精密机器的底座。

    芯片联盟的封锁,一环扣一环。

    光源,他们断零部件。

    材料,他们断原材料。

    现在,连一台测量基准台,他们都不肯给。

    "陈博士,基准台的技术路线,你今晚给我一份可行性报告。"苏宇站起身,"国内找不到的,我们就找国内最好的脑子。"

    回到办公室,天已经蒙蒙亮。

    苏宇靠在椅背上,揉了揉眉心,意识沉入系统图纸库,检索"高精度测量基准台"。

    【检索结果:超高精度测量基准台技术图纸——存在。核心难点:低热膨胀材料与纳米级平面加工,国内供应链部分覆盖,需精密仪器领域专家协同。】

    精密仪器……

    苏宇睁开眼,正要给陈院士打电话,手机却先一步亮了。是夏若雪发来的消息,只有一句:"还在公司?"

    苏宇回了一个"嗯"。

    三分钟后,办公室的门被轻轻推开。夏若雪端着一碗热粥走进来,白裙上还沾着一点墨迹——她大概也是在实验室里熬了夜。

    "听说工件台卡住了。"她把粥放在桌上,轻声说,"你两天没回家了。"

    苏宇端起粥,喝了一口,忽然问:"若雪,你这两天,是不是也一直在实验室里泡着?"

    "嗯。"夏若雪下意识地擦了擦袖口上那点墨迹,"清源那边,有个水质监测的项目,正好到关键阶段。"

    "熬夜了?"

    "还好。"她笑了笑,"倒是你——工件台的事,别太熬。身体要紧。"

    苏宇放下粥,伸手替她理了理鬓角散落的一缕发丝:"等我忙完这阵,带你出去走走。"

    夏若雪耳朵一红,轻轻"嗯"了一声。

    "嗯。"苏宇没有否认,"难点在测量基准。进口的被封锁,国内又找不到能造的厂。"

    "测量基准……"夏若雪若有所思,忽然说,"我导师,以前跟我提过一个地方。"

    "什么地方?"

    "国家精密仪器研究院。"夏若雪说,"那里有位何院士,专攻纳米级精密测量。他年轻时,主持过龙国第一台光刻机的预研——虽然那台机器没造出来,但他的团队,手里有全套的基准台设计方案。"

    苏宇的呼吸,微微一窒。

    "你认识何院士?"

    "我导师是他当年的学生。"夏若雪说,"其实昨晚,我已经给我导师打过电话了。何院士一听说是造EUV光刻机,当场就说,要买票来魔都看看。"

    苏宇看着她,忽然有些发怔。

    这个平日里安安静静的姑娘,在他最需要的时候,总能从兜里掏出一张他想不到的牌。

    而且,她早就替他想到前面去了。

    "若雪,"他认真地说,"这次,又要欠你一个人情了。"

    "什么人情。"夏若雪弯了弯嘴角,"你的事,不就是我的事吗?"

    她顿了顿,又补了一句:"粥,趁热喝。凉了伤胃。"

    第二天下午,京城来的高铁,准时停靠在魔都站。

    何院士今年六十七岁,头发花白,精神矍铄。他一下车,目光就锁定了苏宇,上下打量了一番,忽然笑了。

    "小苏是吧?"他拍了拍苏宇的肩膀,"若雪那丫头给我打电话,说你这边在造EUV光刻机。我一开始还不信——现在看你这架势,是真要干啊。"

    "何院士,"苏宇郑重道,"工件台测量基准的事,拜托您了。"

    "走,先看光源。"何院士摆摆手,"别的不用多说。你们若雪那孩子,很少求人。她开口,我老头子,一定尽力。"

    何院士在总装车间里,整整转了一上午。

    他先看了极紫外光源——光源组的人给他演示了出光,何院士盯着那束紫外光,沉默了很久,才说了一句:"这束光,我等了二十年。"

    他又看了光学镜组的预装结构,用手轻轻拂过镜架,像是在抚摸一件失而复得的宝贝。

    "老陈那套镜组设计,我认识。"他说,"当年在硅谷,他就说过,总有一天要回来,造龙国自己的光刻机。"

    最后,他才停在工件台前,围着它走了三圈。

    "有意思。"他摘下眼镜,擦了擦,又重新戴上,"这个结构,是借鉴了艾斯摩尔的方案,但又改了不少。你们这套设计,底子不差。"

    "问题,出在基准台上。"他指着工件台的底座,"这个材料,热膨胀系数3.8×10⁻⁶。做普通机床,够用。做纳米级对准——差了两个数量级。"

    "何院士,有解吗?"王磊急切地问。

    "解,有。"何院士慢条斯理地说,"我们研究院,存着一套二十年前的方案——低热膨胀合金基准台。当年是为了国家光刻机项目备的料,项目停了,方案也封存了。"

    "封存了?"

    "封存了。"何院士笑了笑,"但图纸,还在。"

    他转身,从随身的公文包里,小心翼翼地掏出一个牛皮纸档案袋。

    "这套方案,封存了二十年。"何院士把档案袋放在桌上,"今天,算是我把它,交到对的人手里了。"

    当晚,星辰光刻总装车间,灯火通明。

    何院士带来的团队,连夜把封存的基准台方案,与苏宇的系统图纸进行比对、整合。

    "何院士,您看这里——"王磊指着图纸上的一处结构,"这个补偿算法,我们能不能跟这个材料的热膨胀曲线做耦合?"

    "可以。"何院士眼睛一亮,"你小子,有想法!"

    "还有这里……"

    一老一少,就着一张图纸,聊得越来越投入。苏宇站在一旁,看着何院士眼里那束光,忽然有些出神。

    这位老人,等这台光刻机,怕是等了二十年。

    凌晨三点,王磊的声音从对讲机里传来,带着难以抑制的激动:"苏总!基准台换装完成!重新联调!"

    "开始!"

    "工件台Y轴移动,误差——1.47纳米。"

    "X轴,误差——1.52纳米。"

    "精度,提升了一倍!"

    车间里,一片欢腾。陈博士激动得连说了三个"好"。何院士站在工件台旁,看着那组数据,眼眶微微泛红。

    "二十年……"他喃喃道,"这台机器,终于有人把它,接着造下去了。"

    他转过头,看着苏宇,忽然郑重地说了一句:"小苏,我老头子没什么能给你的。就一句话——只要这台机器需要我,我何某人的这把老骨头,随叫随到。"

    苏宇心头一热:"何院士,星辰光刻,永远是您的家。"

    何院士摆了摆手,目光却还黏在那台样机上,低声说:"能看着它立起来……我这辈子,值了。"

    苏宇看着那组数据,却没有松懈。

    "何院士,1.5纳米,离目标还差三倍。"他说。

    "我知道。"何院士点了点头,"剩下的,靠两样东西——补偿算法,和这颗轴。"他指了指工件台的驱动轴,"算法,我们研究院有现成的。轴,就看你们王总的软件团队,能写多细了。"

    "那明天,继续。"苏宇说,"一天,一纳米。"

    1.5纳米,离0.5纳米,还有三倍的距离。

    "继续。"他说,"何院士的方案,还能往深里挖。今晚,我要看到1纳米以内。"

    "收到!"

    苏宇刚放下对讲机,手机就响了。是助理,声音带着一丝慌乱。

    "苏总!出事了!"

    "说。"

    "刚刚……台积光电发布全球公告——"助理的声音有些发紧,"宣布从即日起,暂停为龙国所有芯片设计公司提供代工服务!"

    苏宇的眼神,骤然一冷。

    "国内那几家芯片设计公司……"助理的声音都在发抖,"全都慌了!他们找不到代工厂,订单全要烂在手里!有些小公司,可能撑不过这个月!"

    车间里,欢呼声还在继续。

    苏宇站在窗边,看着窗外沉沉的夜色,眼底的寒意,一点点漫上来。

    "台积光电……"他缓缓重复了一遍这个名字,"真以为,断掉代工,就能掐死龙国的芯片?"

    他转过身,目光扫过那台正在重新联调的光刻机样机,忽然笑了一下。

    消息传到星抖,热搜瞬间爆了。

    "台积光电断供代工?他们疯了?!"

    "龙国几十家芯片设计公司,全要被卡死!"

    "完了完了,国产芯片要全军覆没了……"

    恐慌情绪,一夜之间席卷全网。

    而在星辰总部,苏宇看着手机上那一条条哀嚎的热搜,神色平静。

    他拨通了张启明的电话:"启明,明天上午,通知国内所有芯片设计公司——冰芯,开放产能接单。"

    "明天?"张启明愣了一下,"苏总,冰芯的量子芯片产线,刚跑通……"

    "我知道。"苏宇说,"所以明天,才是最好的时机。"

    "他们越是恐慌,我们就越要站出去。"

    电话那头,张启明沉默了两秒,声音透出笑意:"好啊。"

    "那就让他们看看——龙国,到底是谁说了算。"
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